世界最速除電 業界最高 省メンテナンス性 抜群のユーザビリティ 業界最小流量 省エネシース効果
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4個特徵 可以支援所有場合的最佳除電能力

【比傳統小1/2】 業界最小流量節能屏蔽效果

業界流量最少、實現比傳統省2倍的省維護效能

配備協助達到極至效果的0.51/1低耗流電極針。
在液晶製造等領域使用多臺設定時,能有效控制氣體消耗量同時降低異物附著,
達到節能且省維護的效果。 ※使用層流輔助部件時。

靜電消除的時間變化(代表例)
■清潔氣體屏蔽系統 電極針帽截面圖/靜電消除的時間變化(代表例)

層流輔助部件

可選購安裝在靜電消除器機身內提供層流的 輔助部件。可在不擾亂無塵室層流的情況下 發揮靜電消除的功能。

層流輔助部件
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